Jenis
Lini produksi Lapisan
Video Keluar Inspeksi
Melihat
Komponen Inti
PLC, Mesin, Bearing, Gearbox, Motor, Pressure Vessel, Gear, Pompa
Dimensi (l * w * h)
1100mm x 800mm x 1100mm
Jual Kunci Poin
Produktivitas Yang Tinggi
Bahan ruang vakum
1100mm x 800mm x 1100mm
Pompa tahap depan
Kecepatan pompa baling-baling Rotary adalah 1,1l/S
Pompa sekunder
Pompa molekul Turbo dengan kecepatan pompa 600L/S
Vakum (depadetion)
0.133 ~ 133PA, disesuaikan dengan prosesnya
Daya RF
13.56MHz,500W (pasang otomatis)
Kontrol aliran
Pengukur aliran massa (standar Ar,0 ~ 200sccm)